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嘟！

嘟！

嘟！

随着万宁古的一声令下，光刻室内的报警器闪烁着红光，发出警报，提醒在场的工作人员集中注意力。这一次的光刻模拟实验鸣芯制造公司要投入大量的资金，每一步都要小心谨慎才行。

比如说，光刻掩膜片、光刻胶、电能、中间试剂等损耗品，价格都非常高。这些费用算下来，比真正做一次流片的成本也少不了多少。

故此，万宁古此时的表情非常紧张，目不转睛的盯着第三代光刻机的主控操作界面。随着光刻机激光头和观课工作台的运动，他的嘴角也不由自主的抽抽着，嘴里在念念有词。

“应该没问题！”

“这次一定会成功！”

光刻流片的精度已经超过人类目测的能力范围，工作人员不可能当场就看到激光曝光后的光刻效果。特别是采用fi制程技术以后，光刻流片的制程工艺更加复杂，工作人员只能从监视器上看到模拟的光刻过程。

所以说，万宁古即便再着急，也只能等到这台第三代光刻机完成光刻曝光的流程才能得知此次模拟光刻的效果。

相对而言，对这种高端工艺不精通的许振鸣来说，这仅仅只是一次普通的实验。“即便这次实验不成功，我们公司也算创造了历史。”他目光柔和的扫视了一眼整个光刻室。

在另一个时空，华夏国的第三代国产光刻机、浸入式光刻制程工艺技术、fi制程技术等高端芯片foundry制程技术，都要等到老外玩腻了才能攻克。而现在，一鸣集团公司的这般技术专家，已经做得很好了。

“不要慌，一次不成功咱们再来一次。”许振鸣给万宁古等人减压。对于万宁古等人的调试速度，他还是比较满意的。

这时。

“停下！立即终止实验！”万宁古盯着监视器，嘴里大喊了一声。

“怎么了万总？”

“什么地方出了问题？”

“喔……哎……”

其他的技术员都把目光投向了监视器的屏幕。精通芯片foundry技术参数的技术员，此时满脸的懊恼之色。

只见监视器的屏幕上，此时闪耀着报警信号，提示光刻曝光的坐标数据、深度数据、激光能量数据都有问题。

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