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随着玻璃门的关闭,投影大屏幕上的画面顿时一转,镜头切换到光刻机的内部。
此时此刻,画面中的光刻机开始运行光刻程序,左边的激光头挪动位置,自动校准,找到原始点。
紧接着,激光头开始工作,给工作台上的硅晶圆片曝光。不过是10秒左右,激光头迅速抬起,工作台开始轮换了。
左边的工作台转换到右边,左边的激光头再次降落、定位和曝光。而右边的激光头也开始工作,正在检验右边工作台上的硅晶圆片。
这就是双工作业的方式,可以缩短光刻机一半左右的时间。
按照光刻机电脑屏幕上显示的时间来看,这台krf光刻机只要22秒钟就可以曝光一片硅晶圆片。
这种速度,全球也没有哪一台光刻机能做到。
嘶……
会议室里,sematech联盟的高级官员们,此时都傻眼了。
“发可!他们是怎么做到的?”
“刚才有谁计时了吗?”
“我看过秒表,的确是22秒钟。”
“狗屎!一鸣集团公司的技术怎么会这么牛?这不科学!”
“除非是…他们用录像做了手脚。”
“yes!就跟航天局登月的录像一样!”
“哈哈哈哈,邓肯的观点非常正确,华国人喜欢做假。刚才这段影像肯定剪辑过了。”
会议室里的大鼻子们都在恶意的猜测着,反正他们不相信亲眼所见的电视画面。
即便现在,画面中的光刻流程还在继续,每隔22秒左右就能曝光一片硅晶圆片。这些傲慢的大鼻子根本不相信自己亲眼所见到的影像画面,脸上浮现出轻蔑的冷笑。
“一群蠢货!”拉尔森回过头来,鄙夷的目光扫视了一圈。
他是内行人,很想从刚才播放的视频画面中获得一些这台krf光刻机的技术秘密。
可这台光刻机的自动化程度已经非常高,芯片foundry制程工艺的参数已经被隐藏到自动控制程里了。
要想得到这台光刻机的秘密,除非马上从一鸣集团公司订购一台这种先进的krf光刻机。
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